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德國弗萊貝格MDPinlinescan(MDP在線(xiàn)晶圓片/晶錠點(diǎn)掃或面掃檢測儀)是一款靈活的OEM設備,可以用于多種不同樣品的在線(xiàn)壽命測量:從單晶到多晶硅錠,從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過(guò)程控制。配置標準軟件接口,易于連接到許多處理或自動(dòng)化系統。
MDPinline(MDP高速晶圓片在線(xiàn)面檢測儀--少子壽命檢測)是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過(guò)工廠(chǎng)安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時(shí)間內,就可以“動(dòng)態(tài)”測量出晶圓圖。該儀器可為每個(gè)晶圓片提供完整的拓撲結構,有效提高了生產(chǎn)線(xiàn)的成本效益和效率。且其實(shí)時(shí)質(zhì)量檢測可以提高和優(yōu)化諸如擴散和鈍化等處理步驟。
德國弗萊貝格儀器的MDPinline ingot(MDP晶錠在線(xiàn)面掃檢測儀--進(jìn)口少子壽命測試)系統是快速多晶硅晶錠電學(xué)參數特性測量工具。它是專(zhuān)為高通量工廠(chǎng)的單塊晶錠測試而研發(fā)的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時(shí)間里測量其四面。所有的圖譜(壽命,光電導率,電阻率)都可以同時(shí)進(jìn)行測量。
德國Freiberg Instruments的MDPicts(MDP微波探測光誘導電流瞬態(tài)譜儀--少子壽命),非接觸且無(wú)損傷,用于溫度依賴(lài)的少數載流子壽命測量以及半導體的界面陷阱和體陷阱能級的電性能表征。MDpicts將在半導體材料的基礎研究與開(kāi)發(fā)領(lǐng)域取得廣泛的應用。
臺式PID(Potential Induced Degradation)潛在誘導退化測試儀,用于c-Si太陽(yáng)能電池和光伏迷你組件的售前和安裝后質(zhì)量檢測。
晶圓片晶錠壽命檢測儀用于常規質(zhì)量控制、精密材料研發(fā)的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量
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