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當前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心三維X射線(xiàn)顯微鏡(XRM)弗萊貝格--DDCOM用于晶體定向測量的桌面型X射線(xiàn)衍射儀

用于晶體定向測量的桌面型X射線(xiàn)衍射儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

德國弗萊貝格DDCOM(用于晶體定向測量的桌面型X射線(xiàn)衍射儀)主要應用于單晶的*晶格取向的確定,其采用Omega掃描方法對樣品進(jìn)行超高速晶體定位測量,可以測定立方晶體的任意位置取向,該設備配置了氣冷式X射線(xiàn)管,操作過(guò)程無(wú)需水冷,適用于科學(xué)研究及生產(chǎn)質(zhì)量控制。

產(chǎn)品型號:弗萊貝格--DDCOM
更新時(shí)間:2024-07-11
廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
訪(fǎng)問(wèn)量:1984

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?產(chǎn)品介紹

德國弗萊貝格DDCOM(用于晶體定向測量的桌面型X射線(xiàn)衍射儀)主要應用于單晶的*晶格取向的確定,其采用Omega掃描方法對樣品進(jìn)行超高速晶體定位測量,可以測定立方晶體的任意位置取向,該設備配置了氣冷式X射線(xiàn)管,操作過(guò)程無(wú)需水冷,適用于科學(xué)研究及生產(chǎn)質(zhì)量控制。

?技術(shù)特點(diǎn)

 --確定單晶的*晶格取向

 --使用Omega掃描方法的超高速晶體定位測量

 --立方晶體任意未知取向的測定

 --特別設計用于點(diǎn)陣方向的方位設置和標記

 --氣冷式x射線(xiàn)管,無(wú)需水冷

 --適合于研究和生產(chǎn)質(zhì)量控制

 

所有想要的晶體方向參數在5秒內一次旋轉中被捕獲

 

?可測量材料的例子

 --立方/任意未知方向:Si, Ge, GaAs, GaP, InP 

 --立方/特殊取向:Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3

 --正方:MgF2, TiO2, SrLaAlO4

 --六方/三角:SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英),Al2O3(藍寶石),GaPO4, La3Ga5SiO14

 --斜方晶系:Mg2SiO4 NdGaO3

 --另可根據客戶(hù)的要求進(jìn)一步選料

 

 

?DDCOM的應用
 

平面方向的標記和測量

 --在晶圓片的注入和光刻過(guò)程中,需要平面或凹槽作為定位標記。切割過(guò)程中,晶片必須正確地對準晶圓片上易于切割的晶格面。因此,檢查平面或缺口的位置至關(guān)重要。

 --為了確定平面或缺口的位置,就需要測量平面內的部件。由于Omega掃描法可以在一次測量中確定完整的晶體方位,基于此,便可以直接識別在平面方向或檢查方向的單位或缺口。

  --DDCOM用于晶體定向測量的桌面型X射線(xiàn)衍射儀通過(guò)旋轉轉盤(pán),可以將任何平面方向轉換成用戶(hù)的特定位置。在必須定義平面方向的情況下,可以大大簡(jiǎn)化將標記應用到特定平面方向的過(guò)程。

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