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三維X射線(xiàn)顯微鏡(XRM)
弗萊貝格--Quatrz XRD石英晶體X射線(xiàn)衍射儀--石英棒定向儀
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?產(chǎn)品介紹
德國弗萊貝格儀器Quatrz XRD(石英晶體X射線(xiàn)衍射儀--石英棒定向儀)主要應用于對石英棒、硅片和坯料進(jìn)行生產(chǎn)質(zhì)量控制。而根據樣品對象的不同,Quatrz XRD(石英晶體X射線(xiàn)衍射儀--石英棒定向儀)可以分為Quatrz Bar XRD、Quatrz Wafer XRD和Quatrz Blank XRD,即全自動(dòng)石英棒定向儀、全自動(dòng)石英晶圓盤(pán)分析儀和全自動(dòng)石英晶片分選儀三種型號。
?全自動(dòng)石英棒定向儀
樣品:
--石英棒
特點(diǎn):
--*自動(dòng)化的吸收和校準石英棒
--自動(dòng)上膠轉接器板
--校準精度:±0.5°(AT & TF)
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?全自動(dòng)石英晶圓片分析儀
樣品:
--圓形,長(cháng)方形和正方形
--4 x 4毫米至80 x 80毫米(人手處理樣本)
--20 x 20毫米至80 x 80毫米(自動(dòng)樣本處理)
特點(diǎn):
--空間質(zhì)量檢查的映射圖選項
--模塊化設計,支持未來(lái)的自動(dòng)化升級
--用于輸入/輸出的標準樣品盒:盒式或疊式
--可用排序函數
產(chǎn)量:
--在標準分選精度下,可高達350片/小時(shí)
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?全自動(dòng)石英晶片分選儀
樣品:
--圓形,長(cháng)方形和正方形
--4 x 4毫米至12 x 12毫米(手工處理樣本)
--1.5 x 1.5毫米至3.0 x 6.0毫米(自動(dòng)化選項一)
--4.0 x 4.0 mm至9.0 x 9.0 mm(自動(dòng)化選項二)
特點(diǎn):
--質(zhì)量分組:±7.5 arcsec(低)
--吞吐量:在標準分揀精度下,每小時(shí)多可處理1000個(gè)晶片
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